よくわかる　最新・半導体製造装置の基本と仕組み＜第３版＞　図解入門Ｈｏｗ－ｎｕａｌ　Ｖｉｓｕａｌ　Ｇｕｉｄｅ　Ｂｏｏｋ

ファブから検査まで製造装置を俯瞰する