よく分かる　最新・半導体製造装置の基本と仕組み＜第２版＞　図解入門Ｈｏｗ－ｎｕａｌ　Ｖｉｓｕａｌ　Ｇｕｉｄｅ　Ｂｏｏｋ

製造装置の全体を俯瞰する